Нанесение тонких пленок карбида бора магнетронным распылением порошковой мишени

Твердые и износостойкие пленки из карбида бора, получаемые магнетронным распылением твердых мишеней, широко применяются в промышленности для повышения стойкости материалов к истиранию, коррозии и высоким температурам, а также в производстве электронных компонентов и солнечных батарей, вследствие высокой твердости, термической стабильности, высокой износостойкости и химической инертности в широком интервале температур. Вместо традиционного использования для магнетронного распыления твердых мишеней предложена технология получения пленки из карбида бора магнетронным распылением порошковой мишени из непрессованного порошка карбида бора. Полученные по новой технологии тонкие пленки карбида бора обладают высокой адгезией к подложке, однородной структурой, минимальной шероховатостью поверхности пленки. Порошковая мишень не требует длительного процесса термического спекания порошка карбида бора при высоких давлениях и стоит значительно дешевле твердой мишени. Стоимость прессованной твердой мишени весом порядка 100 г. составляет 38200 рублей, а стоимость порошка карбида такого же веса - 400 рублей.